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国家重点研发计划课题综合绩效评价会在天地伟业召开

发表时间：　2021-11-25

11月23日，国家重点研发计划“重大科学仪器设备开发”项目“微纳结构动态特性测试仪项目”课题综合绩效评价会，在天地伟业技术有限公司召开。

会议邀请了中科院微电子所、中科院苏州生物医学工程技术研究所、南开大学、中科院半导体研究所、山东理工大学、北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室的多位业内专家学者，对各课题目标和考核指标完成情况、研究成果的水平及创新性、成果示范推广及应用前景、课题对项目总体目标的贡献、人才培养和组织管理等情况进行综合绩效评价。

天地伟业技术有限公司董事长戴林代表项目牵头单位致辞发言，天津市科技局高新处处长谭振东、天津滨海高新区科技发展局局长王祺出席会议。谭振东处长充分肯定了天地伟业牵头的项目组主动承担国家任务的能力和决心，证明了天地伟业作为战略科技力量的技术创新能力。

该项目由天地伟业技术有限公司牵头，联合余姚舜宇体育光学技术有限公司、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、天津大学、中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所、歌尔股份有限公司、清华大学、长春光华微电子设备工程中心有限公司共8家单位共同承担。项目下设6个研究课题，历时三年，针对MEMS微纳器件结构精细、系统复杂、难以进行品质综合检测的问题，在进一步提高激光多普勒测振性能的基础上，结合频闪微视觉和显微干涉技术集成开发微纳结构动态特性测试仪，实现MEMS器件三维振动及表面形貌的精确测量，目前已完成了仪器设备开发工作，仪器技术就绪度评估达到9级标准，实现了仪器工程化和产业化推广，各课题均通过专家组的综合绩效评价、顺利验收。